FFU的簡(jiǎn)介和特點(diǎn)
FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機和過(guò)濾器的組合,也可稱(chēng)為“自帶風(fēng)機的過(guò)濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機模塊,下面部分為過(guò)濾器。根據潔凈度的要求,過(guò)濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過(guò)濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部高效過(guò)濾器的阻力,還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力,從而維持設定的運行風(fēng)速。FFU系統具有設計施工簡(jiǎn)便,風(fēng)速調節靈活,潔凈區易于變更等特點(diǎn),因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統形式之一。
FFU(層流罩)具有特點(diǎn):
第一:靈活性。因為FFU是自帶動(dòng)力的,它不受區域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠(chǎng)房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著(zhù)半導體生產(chǎn)工藝的變化,廠(chǎng)房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會(huì )帶來(lái)二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時(shí)不用的FFU設備,可以拆下來(lái),密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風(fēng)。這是FFU的獨特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠(chǎng)房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會(huì )受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四:縮短建設周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因為風(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點(diǎn)。用在循環(huán)減少40%的運行成本。
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