無(wú)塵室(Clean Room)
亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒(méi)有無(wú)塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。