無(wú)塵室等級標準
依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。
現今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規格(U.S.Federalstandard209b),BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空署5340.2規格)。
其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個(gè)0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱(chēng)為[等級○○]。例如:空氣中含有10個(gè)0.5以下時(shí),表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。
在JIS標準下,無(wú)塵室清潔度,共分為8個(gè)等級
一般清潔度是指空氣的潔凈等級,分為等級1、2•••8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1;百個(gè)以下是100=102是等級2;千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級3,一次類(lèi)推。
21世界,最尖端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結構的變革,無(wú)塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求,環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。
美國聯(lián)邦標準(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3
潔凈度級別 粒 徑 (um)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1 35 7.5 3 1 NA
10 350 75 30 10 NA
100 NA 750 300 100 NA
1000 NA NA NA 1000 7
10000 NA NA NA 10000 70
100000 NA NA NA 100000 700
中國藥品生產(chǎn)無(wú)塵車(chē)間(區)的空氣潔凈度標準
潔凈度級別 塵埃最允許數 /平方米 微生物最大允許數
≥0.5um 5um 浮游菌個(gè)/立方米 沉降菌個(gè)/皿.30min
100 3500 0 5 1
10000 350000 2000 100 3
100000 3500000 20000 500 10
300000 10500000 61800 NA 15
無(wú)塵車(chē)間及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001
空氣潔凈度 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 (pc/m3)
等級 (N) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4 10000 2370 1020 352 83
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 352000 83200 2930
8 3520000 832000 29300
9 35200000 8320000 293000
所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,隨著(zhù)集成電路的級數的快速成長(cháng),也增加了對制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導體關(guān)鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線(xiàn)時(shí),就可能會(huì )使金屬導線(xiàn)形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線(xiàn)上,可能將其腐蝕,所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
吸塵器 無(wú)塵室吸塵器 氣動(dòng)吸塵器 工業(yè)吸塵器